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オンラインTOC計 ANATEL A1000シリーズ

オンラインTOC計 ANATEL A1000シリーズ イメージ

純水・超純水向けTOC計A1000シリーズは、世界中の純水プラントで広く利用されている最も信頼のおけるTOC計です。独自のストップフロー方式により、TOC濃度や酸化分解用のUVランプの性能変化に影響されず、有機物の完全酸化を行い低濃度のTOCを安定して測定します。試薬やキャリアガスが不要で、流量や圧力の影響も受けません。

特長

  • 測定に試薬やキャリアガスを使用しません。
  • ストップ・フロー方式とUV光、酸化チタンの光触媒反応により、水中の有機化合物を二酸化炭素と水に完全分解する原理に基づいて設計されており、低濃度TOCの測定が安定しています。
  • 特にXP型はUVランプの高出力化・安定性とUV光の透過率の向上を実現し、酸化終了のエンドポイント(導電率値の最終点)検出用の新アルゴリズムとステップコンペンセーションを導入した計算式を採用することにより、溶存酸素の少ない領域でも、高精度な測定を可能にしています。

ストップ・フロー方式の利点

  • UVランプを照射し、エンドポイントを検出するため、完全酸化が可能です。
  • 1本の導電率センサーで検出しているため、高感度測定を実現しています。
  • TOC値はサンプルの流量と圧力に影響を受けません。

アプリケーション

  • 半導体工場や液浸露光装置用の超純水の管理
  • 液晶、フラットパネル・ディスプレイ工場における純水製造システムの管理
  • 発電所など純水の管理

測定原理

  1. IC(無機炭素):UVランプ照射前の導電率を測定
  2. 分析に入りUVランプを照射し、酸化分解するとCO2 となり、導電率は上昇
  3. この導電率カーブを二次微分して、変化率ゼロとなったエンドポイントを完全酸化完了点とし、この時点での導電率をTC(全炭素)として測定
  4. このTCからICを引いた差分をTOCとして算出(δconductivity)

仕様

A1000 XP シリーズ A1000 シリーズ

モデル名 
ポータブル型

A1000-XP A1000-S20P
モデル名 
分離型(センサー部)
A1000-XPS A1000-S10
測定レンジ 0.02 ~ 1.999 ppb (XPモード)
2.00 ~ 1,999 ppb (標準モード)
0.05 ~ 1,999 ppb
検出下限 0.02 ppb 0.05 ppb
精度 ± 0.05 ppb (0 ~ 0.999 ppb)
± 0.1 ppb (1.000 ~ 1.999 ppb)
± 0.5 ppb または読み値の±5% の
どちらか大きい方(2 ~ 1,999ppb)
± 0.5 ppb または読み値の± 5% の
どちらか大きい方
分解能 0.001 ppb(≦1.999 ppb)
0.01 ppb(≦19.99 ppb)
0.1 ppb(20.0 ~ 199.9 ppb)
1 ppb(200 ~ 1,999 ppb)
0.01 ppb(≦19.99 ppb)
0.1 ppb(20.0 ~ 199.9 ppb)
1 ppb(200 ~ 1,999 ppb)
比抵抗範囲 15.0 ~ 18.2 MΩ・cm (XPモード)
0.2 ~ 18.2 MΩ・cm(標準モード)
± 0.5 ppb または読み値の± 5%の
どちらか大きい方
導電率測定レンジ 導電率測定レンジ0.05 ~ 100 μS/cm 0.05 ~ 100 μS/cm
サンプル水比抵抗 (1)5 MΩ・cm 以上(全サンプル水)
(2)1 MΩ・cm 以上(中性水:pH7)
(3)0.1 MΩ・cm 以上(CO2が唯一の導電物質のサンプル水)
サンプル流量 サンプル流量60 ~ 300 mL/min
耐圧 耐圧10 ~ 100 psi (60 ~ 690 kPa)
電源/消費電力 100 ~ 240 VAC ±10%、50 / 60 Hz、 10A(定格125V / 250V使用時)

寸法/重量
ポータブル型

172 mm( W) × 112 mm( D) × 330 mm( L) / 7 kg
寸法/重量
分離型(センサー部)
106 mm( W) × 112 mm( D) × 330 mm( L) / 6.5 kg
周囲環境 5 ~ 40 ℃、0 ~ 95% RH(結露しないこと)
I / Oコネクション 4 ~ 20 mAアナログ出力 × 1( オプションで比抵抗の出力も可能) 、アラーム出力 × 1点
ネットワークケーブル長 最大1 km
配管接続 SS 1/4インチスウェージロック(IN ~ OUT共)
その他 ポータブル型は、サーマルプリンター(キャリング用ハンドル付)

※ XPモード測定は2.0 ppb以上、15 MΩ・cm以下、32 ℃以上になりますと、自動的に標準(A1000)モードに切り替わります。

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